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压阻式光电开关传感器电路分析
 
更新时间:2015.03.13 浏览次数:
 

  压阻式光电开关传感器由外壳、硅膜片和引线组成,其核心部分是一块圆形的膜片,在膜片上利用集成电路的工艺扩散四个阻值相等的电阻,构成电桥。膜片的四周用一圆环固定,常用硅杯一体结构来减小膜片与基座连接所带来的性能变化。膜片的两边有两个压力腔,一个是和被测系统相连的高压腔,另一个是低压腔,通常和大气相通。当膜片两边存在压力差时,膜片上各点存在应力。四个电阻在应力作用下阻值发生变化,电桥失去平衡,输出相应的电压。该电压和膜片两边的压力差成正比,这样测得不平衡电桥的输出电压就能求得膜片所受的压力差。

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